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巴鲁夫成型外壳内的磁致伸缩位移传感器

产品时间:2019-06-01

简要描述:

巴鲁夫成型外壳内的磁致伸缩位移传感器

主营德国进口备件:巴鲁夫BALLUFF、

图尔克TURK、倍加福P+F

西克SICK、 、 FIAMA MTS、 SMC

易福门IFM、皮尔兹Pilz 、费斯托FESTO 、美国邦纳Banner 杰佛伦 gefran 等它们只在有读写器有信号的情况下传输。电池既可以为传感器供电,也可以为天线供电。

巴鲁夫成型外壳内的磁致伸缩位移传感器

 

近年来,研究人员采用磁致伸缩薄膜作为敏感膜的表面声波(surface acoustic wave,简称SAW)传感器,为设计磁场传感器提供了新方法。王文的研究小组曾提出一种基于铁钴薄膜的SAW器件[2],用于感测电流/磁场,根据理论优化获得的灵敏度高达8.3 kHz/mT。然而,磁致伸缩薄膜中的强磁滞效应*带来了显著的滞后误差,明显降低了传感器性能。

 

此次,研究人员将栅阵式图形设计的铁钴磁致伸缩敏感膜与表面声波相结合进行磁场感测,所提出的传感器由差分双延迟线振荡器构成,

 

传感通道上的器件表面利用射频溅射技术和套刻工艺沉积铁钴薄膜栅阵,通过释放铁钴中的内部应力变化来有效地抑制磁滞效应。参考通道的器件用于通过差分方法有效减小外围环境温度等影响。

 

当磁场发生变化时,铁钴薄膜发生磁致伸缩效应*和ΔE效应*,引起SAW传播速度的改变,进而可以差分振荡频率信号的变化来表征待测磁场强度。

 

实验结果证明,通过采用铁钴栅阵式磁敏薄膜的SAW磁场传感器,成功抑制了铁钴材料中的磁滞效应,其磁滞误差仅为铁钴薄膜式传感器的五分之一,而且,传感器的灵敏度、线性度也得到了大幅改善,如图2所示。

巴鲁夫成型外壳内的磁致伸缩位移传感器

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