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巴鲁夫直线位移传感器

产品时间:2019-05-28

简要描述:

巴鲁夫直线位移传感器航空制造技术·2019年第62卷第8期
研究论文RESEARCH
1 位移传感器组成原理

巴鲁夫直线位移传感器

 

位移传感器是用来测量位移、距离、位置和应变量等长度尺寸的计量器具。以浮子式位移传感器(图1)为例,它由电缆、波导丝、测杆、浮子等元器件组成。位移传感器输出主要形式为电信号,如:不同频率的脉冲

信号、电压或电流等模拟量,也有部分位移传感器集成了信号转化功能,直接以数字方式或其他方式输出长度值。其校准技术JJF1305–2011《线位移传感器校准规范》规范中只给出了安装原则,却没有给出具体的实施

方案[4],因此位移传感器的校准技术研究非常必要。

2 校准系统的硬件组成

       位移传感器校准系统硬件主要由激光干涉仪、光栅尺、校准台、位移驱动控制系统、夹具组件等组成,以激光干涉仪为基准,以高精度气浮导轨作为运动单元,通过直线电机带动气吸附滑块在导轨上运动,给出水平运动方向的标准长度量,并配合夹具,实现位移传感器自动校准。

2.1 激光干涉系统

       干涉仪光束进入线性干涉镜被分成两束。一束光被引向装在分光镜上的反射镜,另一束光则穿过分光镜到达第2 个反射镜,最终两束光都被反射回分光镜,在此它们重新组合并被导回激光头产生干涉。在线性测量过程中,一个光学组件保持静止不动,另一个光学组件沿线性轴移动。通过监测测量光束和参考光束之间的光路差异的变化,产生定位精度测量值。

 

巴鲁夫直线位移传感器

 


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