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巴鲁夫直线位移传感器

产品时间:2019-05-28

简要描述:

巴鲁夫直线位移传感器数字信号输出位移传感器方案省去了PLC的模拟量输入模块,利用modbus协议完成信号的采集,并且可以同时并联多路位移传感器。不过由于串行通信速率的限制,系统响应时间较长(通常几十毫秒的响应时间),无法适应高速测量场合的需要。

巴鲁夫直线位移传感器

 

基于传统的位移传感器校准存在摩擦、空程等缺陷问题,提出了一种量程为0~3000mm 高精度校准方案。该方案以激光干涉仪为基准,直线电机配合气浮导轨为驱动单元,创新型光栅实现闭环控制,使定位精度在3μm/m量级。位移传感器校准时,通过六个自由度的可调夹具,使位移传感器运动方向与标准测量方向在同一条直线上,可实现阿贝误差的最大化消除。尤其针对特殊的浮子式传感器校准,通过设计专用夹具配合支撑点消除变形的校准方式,解决了测杆在校准过程存在的形变难题。同时,校准装置不确定度的评定和验证,表明该校准方法可行有效。

关键词:大量程;高精度;位移传感器;校准;浮子式

 鉴于此,本文以高精度、大量程、自动化为目标,采用激光干涉仪作为基准,直线电机作为驱动单元,气浮导轨作为运动单位,光栅尺实现闭环控制方式,自动采集和处理校准数据,以实现位移传感器的自动化校准。此外,针对浮子式位移传感器测杆变形问题,设计专用夹具配合支撑点消除变形的校准方式,其中,专用夹具由升降V 形组合体、浮子传感器磁环组合体、滑轮支撑组合体,T 形槽板四部分组成,可实现六个自由度旋转调整。该校准技术可根据杆的弯曲情况选择合适的位置点滑轮支撑组合体,通过后期微调专用夹具,解决浮球式传感器在校准过程中存在的测杆挠度难题。

巴鲁夫直线位移传感器

 

主营德国进口备件:巴鲁夫BALLUFF

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